⚙️ 纳米精度多自由度运动系统关键技术及其应用 

国家技术发明奖 · 2012年 · 二等奖

📅 2012年 ⚙️ 国家技术发明奖 🏅 二等奖

奖项名称

⚙️ 国家技术发明奖

奖励等级

🏅 二等奖

获奖年份

📅 2012年

完成单位

🏢 工业和信息化部 

📋 项目简介

纳米精度多自由度运动系统关键技术及其应用是一项具有重要科学价值和应用意义的研究成果，在相关领域取得了突破性进展，为我国科技创新和社会发展作出了重要贡献。

👥 主要完成人（共 6 人）

刘  赟(上海微电子装备有限公司) 

周云飞(华中科技大学)

池  峰(上海微电子装备有限公司)

胡元太(华中科技大学)

袁志扬(上海微电子装备有限公司)

陈学东(华中科技大学)

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