国家技术发明奖 · 2019年 · 二等奖
高端电子制造装备高速高精点位操作的关键技术与典型应用是一项具有重要科学价值和应用意义的研究成果，在相关领域取得了突破性进展，为我国科技创新和社会发展作出了重要贡献。
