航空航天特种MEMS制造技术及其应用 - 国家技术发明奖二等奖

航空航天特种MEMS制造技术及其应用是一项具有重要科学价值和应用意义的研究成果，在相关领域取得了突破性进展，为我国科技创新和社会发展作出了重要贡献。