📈 芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术

国家科学技术进步奖 · 2019年 · 二等奖

📅 2019年 📈 国家科学技术进步奖 🏅 二等奖

奖项名称

📈 国家科学技术进步奖

奖励等级

🏅 二等奖

获奖年份

📅 2019年

完成单位

🏢 湖北兴发化工集团股份有限公司，中国科学院过程工程研究所，武汉工程大学，湖北兴福电子材料有限公司

📋 项目简介

芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术是一项具有重要科学价值和应用意义的研究成果，在相关领域取得了突破性进展，为我国科技创新和社会发展作出了重要贡献。

👥 主要完成人（共 10 人）

科技工作者

高级工程师

科技工作者

科技工作者

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