奖项名称
⚙️ 国家技术发明奖
奖励等级
🏅 一等奖
获奖年份
📅 2023年
完成单位
🏢 暂无信息
📋 项目简介
集成电路化学机械抛光关键技术与装备是一项具有重要科学价值和应用意义的研究成果，在相关领域取得了突破性进展，为我国科技创新和社会发展作出了重要贡献。
