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⚙️ 集成电路FinFET器件工艺核心技术及重大应用
国家技术发明奖 · 2025年 · 二等奖
📅 2025年
⚙️ 国家技术发明奖
🏅 二等奖
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集成电路FinFET器件工艺核心技术及重大应用
奖项名称
⚙️ 国家技术发明奖
奖励等级
🏅 二等奖
获奖年份
📅 2025年
完成单位
🏢 暂无信息
📋 项目简介
集成电路FinFET器件工艺核心技术及重大应用获2025年度国家技术发明奖(二等奖),完成人包括叶甜春、王文武、殷华湘、罗军。
👥 主要完成人(共 5 人)
C
CHAO ZHAO
H
HUILONG ZHU
叶甜春
中国IC装备02专项总师
中科院微电子所
1961年生
王文武
研究员、博士生导师
中钢集团洛阳耐火材料研究院
👨
1973年生
罗军
华为技术有限公司
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