🔧 12英寸减压外延团队

📋 团队简介

12英寸减压外延团队依托北京北方华创微电子装备有限公司建设。北方华创是国内集成电路高端工艺装备领域的主要企业之一，产品覆盖刻蚀、薄膜沉积、清洗、热处理等关键工艺环节。

团队聚焦12英寸集成电路制造中的减压外延（Reduced Pressure Epitaxy）工艺装备，属半导体前道核心设备方向。减压外延设备用于在硅片表面生长高质量外延层，是逻辑与功率器件等产品制造的关键装备，长期由国外厂商主导，团队在该类设备的自主研制与产业化上持续攻关。

2024年1月19日，团队被党中央、国务院授予“国家卓越工程师团队”称号，以表彰其在重大装备自主可控方面作出的工程技术贡献。