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邹世昌

📖 人物简介

邹世昌,中国科学院院士,材料学家。1931年生于江苏太仓,1952年毕业于交通大学化工系,1955年获中科院冶金陶瓷研究所硕士学位。长期从事半导体材料、离子注入研究,曾任中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员。是中国离子注入技术开拓者,1991年当选中国科学院院士。

🌟 主要成就

研制中国第一台离子注入机;开拓中国离子注入半导体掺杂技术;突破SOI(绝缘体上硅)材料关键制备技术;建设中国第一条SOI中试线;参与建设上海第一条8英寸IC生产线

📄 详细介绍

邹世昌1931年出生于上海,1952年毕业于唐山交通大学冶金工程系,1953年赴苏联留学,在莫斯科有色金属学院学习半导体材料,1958年获得技术科学副博士学位,是新中国自己培养的第一批半导体材料专家。回国后进入中国科学院上海冶金陶瓷研究所(现上海微系统与信息技术研究所)工作,从此在该所耕耘超过半个世纪。1960-70年代,他率先在国内开展离子注入半导体掺杂技术研究,研制出中国第一台离子注入机,将离子注入技术应用于硅器件制造。离子注入是现代CMOS工艺最核心的掺杂技术,他的工作为中国集成电路制造技术进步做出了重要贡献。1980年代,他赴德国慕尼黑弗朗霍夫研究所做访问学者,回国后在国内开拓了SOI(绝缘体上硅)材料和器件研究方向。SOI材料在高速低功耗IC、抗辐射器件、MEMS等领域有重要应用,他领导团队突破了注氧隔离(SIMOX)和智能剥离(Smart-Cut)等SOI制备关键技术,建立了中国第一条SOI材料中试线,为中国SOI产业化奠定了基础。1990年代以后,他转向硅基光电子材料、金刚石薄膜、宽带隙半导体(碳化硅、氮化镓)等新材料领域,推动上海微系统所在这些前沿方向的布局。邹世昌1998年担任上海宏力半导体制造有限公司董事长,参与了中国第一条8英寸集成电路生产线的建设和运营,将科研成果转化为产业实践。他还担任上海市集成电路行业协会首任会长,为上海浦东张江半导体产业集群的发展做出了重要贡献。

📋 基本信息

所属机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
职务
研究员、前所长
学历背景
苏联莫斯科有色金属学院副博士
出生日期
1931年 (约95岁)
国籍
中国
研究领域
半导体材料、离子注入、SOI材料、先进电子材料

🏆 荣誉称号

中国工程院院士(1991年当选)中国电子学会会士中国材料研究学会会士国家科技进步奖中国科学院科技进步奖何梁何利基金科学与技术进步奖上海市科技功臣1991年当选中国科学院院士
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