李惠军

基本信息

国籍：中国 出生地：济南 出生日期：1952年 毕业院校：南京邮电学院 职业：教授、硕士研究生导师 主要成就：山东省科学技术进步二等奖、山东省省教委科技进步一等奖、山东省省级教学成果一等奖、山东省省级教学成果二等奖

人物简介

李惠军（1952年- ），山东日照人，生于济南，山东大学信息科学与工程学院教授、硕士研究生导师，兼任山东大学孟尧微电子研发中心主任。1975年毕业于南京邮电学院半导体器件专业，中国电子学会高级会员，信息产业部《微纳电子技术》特邀编委。研究方向涵盖超大规模集成电路制造工艺技术、ASIC一体化设计、SOC芯片CAD设计等领域。李惠军主持完成3项省部级科研项目。科研成果获山东省科学技术进步二等奖、山东省教委科技进步一等奖等四项省级奖项。主编《集成电路制造技术教程》等四部教材，其中《集成电路制造技术教程》于2014年由清华大学出版社出版。近十年发表学术论文70余篇，涉及亚微米MOS器件工艺参数优化、TCAD设计参数提取与工艺仿真等技术方向。曾作为特邀嘉宾参加山东大学青年教师教学研讨午餐会并结合教学经历发表见解。2009年8月，曾向到访的王芹生研究员赠送其主编的“十一五”规划教材《现代集成电路制造技...

获奖记录

2009年获国家科学技术进步奖（二等奖）——氢能技术