⚙️ 硅基MEMS技术及应用研究

国家技术发明奖 · 2006年 · 二等奖

📅 2006年 ⚙️ 国家技术发明奖 🏅 二等奖

奖项名称

⚙️ 国家技术发明奖

奖励等级

🏅 二等奖

获奖年份

📅 2006年

完成单位

🏢 北京市

📋 项目简介

硅基MEMS技术及应用研究获2006年度国家技术发明奖（二等奖），完成人包括王阳元、张大成、郝一龙、闫桂珍、李婷、张海霞。

👥 主要完成人（共 6 人）

中国管理科学研究院高级研究员

中国半导体科学家

2006年度国家技术发明奖二等奖获得者

中国科学院院士、中国半导体物理学家

👨 1935年生

北京大学集成电路学院教授

2006年度国家技术发明奖二等奖获得者

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