郝一龙

基本信息

出生日期：1963年

职业：教授

人物简介

郝一龙，男，1963年出生，毕业于北京大学，分别于1985年、1991年和2004年获学士、硕士及博士学位。现任北京大学集成电路学院教授，微米/纳米加工技术国家级重点实验室副主任，京津冀国家技术创新中心常务副主任。郝一龙1981年进入北京大学计算机系微电子专业学习。1985年至1988年在邮电部半导体所工作。1991年起在北京大学工作，历任助教、讲师、副研究员，2002年晋升教授。2004年在香港科技大学计算机与电子工程系做博士后（Research associate）。2007年至2012年担任北京大学微电子研究所所长。长期从事微机电系统（MEMS）与宽禁带半导体器件研究，主要研究方向包括MEMS设计加工技术、微型加速度计、压力传感器及第三代半导体技术。曾主持开发表面牺牲层技术等MEMS加工工艺，以及多种新型MEMS传感器。主持和参加了多项国家级、省部级重点研究项目。截至2026年初，以...

获奖记录

2006年获国家技术发明奖（二等奖）——硅基MEMS技术及应用研究

主要成就

长期从事微机电系统（MEMS）与宽禁带半导体器件研究，主要研究领域包括MEMS工艺与器件（如微型加速度计、压力传感器、声矢量传感器、惯性器件）、微纳加工技术以及GaN（氮化镓）器件等。

主持开发了表面牺牲层技术等MEMS关键加工工艺，并提出了抗粘附技术方法。主持了新型化学传感器，以及电容式、谐振式和隧穿式等多种MEMS器件的开发。目前工作重点为高精度微型加速度计和压力传感器的研究与应用。与团队合作，基于表面活性电荷机制开发了GaN器件结构及其制造工艺，包括HEMT器件和功率开关器件。

主持和参加了多项国家级、省部级重点研究项目，包括国家自然科学基金、国家重点研发计划课题、国家973计划、国家863计划、国家科技重大专项等。

截至2026年初，以第一作者或合作作者身份在国际著名学术期刊、国内核心期刊及重要学术会议上发表研究论文100余篇，获专利4项，合作出版教材1部。其学术成果被引频次达4588次，成果数659项，H指数为36，G指数为28。

荣誉奖项

2001年，获北京市科学技术一等奖（排名第三）。2005年，获国务院政府特殊津贴。2006年，获国家技术发明二等奖（排名第三，项目：硅基MEMS技术及应用研究）。2019年，获教育部科技进步一等奖（排名第七），北京市精品教材一部。

个人经历

1981年进入北京大学计算机系微电子专业学习，分别于1985年、1991年和2004年获学士、硕士及博士学位。

1985年至1988年在邮电部半导体所任助理工程师。1991年起在北京大学工作，历任助教（1991-1992）、讲师（1992-1997）、副研究员（1997-2002）、教授（2002年至今）。2004年在香港科技大学计算机与电子工程系做博士后（Research associate）。2007年至2012年担任北京大学微电子研究院（所）院长。现任北京大学集成电路学院（原微电子学研究院）教授，微米/纳米加工技术国家级重点实验室副主任。现任京津冀国家技术创新中心常务副主任。

学术作品

郝一龙在微机电系统等领域发表了多篇学术论文。其代表性学术作品包括2025年发表的《Broadband source-driven resonant integrated optical gyroscope using a low modulation frequency》、2024年发表的《Sensitivity enhancement of thermal acoustic particle velocity sensor based on metal film optimization》以及2023年发表的《A micro and low-cost packaging technology of high accuracy piezoresistive pressure sensors with Parylene coating》。

2006年，郝一龙在《半导体学报》上发表了《基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器》。2003年，其合作论文《微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状》和《一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构》发表于中国微米/纳米第六届学术年会论文集。