国家科学技术进步奖 · 2013年 · 二等奖
集成电路制造关键技术研究获2013年度国家科学技术进步奖(二等奖),完成人包括叶甜春、丁文武、赵新为、严晓浪、许居衍、王志华、唐璞山、陈弘毅、郝跃、陈宝钦。