陈宝钦

基本信息

民族：汉族 毕业院校：北京大学物理系

人物简介

陈宝钦（1942年－），男，福建福州人，毕业于北京大学物理系，中国科学院微电子研究所研究员、教授，兼职中国科学院研究生院教授、中国电子学会高级会员、北京半导体专业委员会委员及制版分会主任、全国半导体设备与材料标准化技术委员会副主任委员及微光刻分委会主任委员、全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术工作组副秘书长、光学微细加工国家重点实验室学术委员会副主任委员。1966年毕业于北京大学物理系半导体专业，1968年进入中国科学院半导体研究所工作，1986年转入中国科学院微电子研究所。从事光掩模制造与光刻技术研究，亲历中国光刻技术发展六十年，获国家科技进步奖、国家技术发明奖等近百项奖励。2022年获评北京市朝阳区"最美科技工作者"，2024年荣获"北京榜样"称号。致力于科普教育，每年在全国开展义务科普讲座。

获奖记录

2020年获国家科学技术进步奖（二等奖）——集成电路制造关键技术研究 2015年获国家科学技术进步奖（二等奖）——集成电路设计 2015年获国家科学技术进步奖（二等奖）——微电子技术 2013年获国家科学技术进步奖（二等奖）——集成电路制造关键技术研究 2011年获国家科学技术进步奖（二等奖）——集成电路制造关键技术研究