谢常青

基本信息

国籍：中国 出生地：广西浦北县 出生日期：1971年 毕业院校：中国科学技术大学 代表作品：《微细加工技术》 主要成就：北京市科学技术进步一等奖、国家技术发明二等奖、中国电子信息科技创新团队奖、中国科学院科苑名匠称号

人物简介

谢常青（1971年—），广西浦北县人，中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室研究员、博士生导师、硕士生导师，《微细加工技术》编委。其被引频次1614，成果数299，H指数20，G指数32。1993年毕业于中国科学技术大学后进入中国科学院微电子研究所工作，长期从事深亚微米光学光刻、纳米光刻及衍射光学器件研究，参与国家“863”“973”计划、国家重点研发计划等科研项目。研制出5000线/mm、7000线/mm衍射光学元件并实现应用，主导团队开发的微纳器件技术应用于国家重大工程。2003年和2006年分别获北京市科学技术进步一等奖，2013年获国家技术发明二等奖。以第一作者发表论文多篇，出版专著《微细加工技术》。2019年作为“集成电路核心技术科技创新团队”带头人获中国电子信息科技创新团队奖。2024年，其带领的微纳器件制造技术团队荣获中国科学院第五届“科苑名匠”称号。担任中国光学工...

获奖记录

2013年获国家技术发明奖（二等奖）——高精度微纳结构掩模制造核心技术