陈大鹏

基本信息

出生日期：1968年10月 毕业院校：合肥工业大学 职业：中国科学院微电子研究所研究员 代表作品：电镀法制作活动微结构的牺牲层工艺 主要成就：提出一种开放式SERS液滴传感器、构建了‘一体两翼’发展格局、获北京市科技进步一等奖

人物简介

陈大鹏，男，1968年10月出生，博士、研究员。研究领域为微细加工技术、MEMS传感器技术、物联网工程与技术等。现任中国科学院微电子研究所研究员，无锡物联网创新促进中心主任、无锡物联网创新中心有限公司总经理。1990年毕业于合肥工业大学化学系高分子专业，1995年于中国科学技术大学获高分子化学理学硕士学位，2000年于中国科学技术大学获核技术及应用工学博士学位。1998年7月进入中国科学院微电子研究所工作，历任助理研究员、副研究员、研究员、研究室副主任、主任等职。2013年赴无锡工作。2020年7月，不再担任中国科学院微电子研究所副所长，保留副局级。其带领团队筹建无锡物联网创新促进中心，构建了“一体两翼”发展格局。

获奖记录

2017年获国家技术发明奖（二等奖）——22-14纳米集成电路器件工艺先导技术