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罗乐
中山大学教授
中国科学院上海微系统与信息技术
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李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室研究员
中国科学院上海微系统与信息技术
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狄增峰
中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长
半导体材料与异构集成
中国科学院上海微系统与信息技术
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国家"万人计划"
欧欣
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员,硅基材料与集成器件实验室主任
集成光子学与钽酸锂/
中国科学院上海微系统与信息技术
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中国青年科学家奖
徐元森
中国工程院院士(1995年当选)
信息与电子工程学部
中国科学院上海微系统与信息技术
27
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1995年当选中
吴自良
中国科学院院士;物理冶金学家;两弹一星功勋奖章获得者
物理冶金与核材料
中国科学院上海微系统与信息技术
42
0
中国科学院学部委
王曦
中国科学院院士
载能离子束与固体相互
中国科学院上海微系统与信息技术
38
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2017年全国创
邹世昌
中国科学院院士、半导体材料专家
半导体材料、离子注入
中国科学院上海微系统与信息技术
27
0
(1991年当选
刘海涛
中国科学院上海微系统与信息技术
20
0
国家科学技术进步
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术
17
0
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术
14
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